半導體空污排放標準增彈性 台積電等新建廠受惠

環保署4日修正發布「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」,新建廠房或新設製程需要採用污染排放較低或防制效能較佳設備,並且放寬排放標準。環保署說,相關規定4日公布後,會給予兩年的緩衝期,正式上路時間訂在114年5月4日實施,屆時新設廠房、擴增的新設備,都需符合新的排放標準。

環保署官員指出,過去標準是不分廠房規模,都以全廠揮發性有機物(VOCs)總排放量不得超過每小時0.6公斤來管制,但由於半導體業有擴充產能的需求,因此新制將改以個別排放管道VOCs濃度須小於14ppm、酸氣(硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸)濃度小於0.5 ppm來規範,放寬排放的天花板上限。

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另外值得注意的是,這次排放標準更動還有考量半導體產業特性,環保署空保處官員指出,由於半導體產業的煙囪在製程上可以少則20根,多則上百根,若要每根都做監測,對於業者來說會是很大的負擔,因此新制可以讓業者擇一作為監測標準,不用做到空污法規定需監測十分之一的標準,降低檢測能量浪費。但官員強調,如果在抽驗時發生不合格時,除了會依空污法裁處之外,也會沒收檢測紅利,恢復成規定的總煙囪數十分之一,並且維持三年。

環保署補充,半導體的空污排放相關辦法從民國88年起沿用至今,這幾年半導體設廠數量快速,多個科學園區齊發,希望加嚴相關檢測辦法並且給予業者相對彈性。官員解釋,藉由排放標準的修訂,預計可減少286公噸全廠揮發性有機物(VOCs)及12公噸酸性氣體排放量,相當於一座煉油廠四個月的排放量。

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來源鏈接:https://www.chinatimes.com/realtimenews/20230504005166-260410

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